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混合气
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产品描述
产品名称
分子式
氢/氮/氦中锗烷
GeH4/H2、N2、He
氢/氮/氦中硅烷
SiH4/H2、N2、He
氢/氮/氦中磷烷
PH3/H2、N2、He
氢/氮/中硼烷
B2H6/H2、N2
可按客户需求配制产品。
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